超精密加工技術(shù)是適應(yīng)現(xiàn)代高科技的需要而發(fā)展起來的先進(jìn)制造技術(shù), 是高科技尖端產(chǎn)品開發(fā)中不可或缺的關(guān)鍵技術(shù), 是一個(gè)國家制造業(yè)水平重要標(biāo)志, 是先進(jìn)制造技術(shù)基礎(chǔ)和關(guān)鍵, 也是裝備現(xiàn)代化不可缺少的關(guān)鍵技術(shù)之一, 在軍用和民用工業(yè)中有著十分廣闊的應(yīng)用前景。金剛石超精密切削技術(shù), 是超精密加工技術(shù)發(fā)展最早的、應(yīng)用最為廣泛的技術(shù)之一。

超精密切削加工技術(shù)

1、超精密切削的歷史

60年代初，由于宇航用的陀螺，計(jì)算機(jī)用的磁鼓、磁盤，光學(xué)掃描用的多面棱鏡，大功率激光核聚變裝置用的大直徑非圓曲面鏡，以及各種復(fù)雜形狀的紅外光用的立體鏡等等，各種反射鏡和多面棱鏡精度要求極高，使用磨削、研磨、拋光等方法進(jìn)行加工，不但加工成本很高，而且很難滿足精度和表面粗糙度的要求。為此，研究、開發(fā)了使用高精度、高剛度的機(jī)床和金剛石刀具進(jìn)行切削加工的方法加工。

2、超精密切削加工的應(yīng)用

（1）平面鏡的切削

平面度<0.06 µm，表面粗糙度Rmax<0.02 µm。

（2）多面鏡的切削

面分度精度7.5”，面傾斜精度3.6”，平面度<0.07 µm，表面粗糙度Rmax < 0.02µm。用于激光印刷機(jī)、復(fù)印機(jī)。

（3）其它零件的切削

球面（球軸承）車削，復(fù)印機(jī)硒鼓（圓柱面）車削，磁盤基片的車削。

金剛石刀具超精密切削

金剛石刀具

1、金剛石刀具特點(diǎn)

金剛石刀具擁有很高的高溫強(qiáng)度和硬度，而且材質(zhì)細(xì)密，經(jīng)過精細(xì)研磨，切削刃可磨得極為鋒利，表面粗糙度值很小，因此可進(jìn)行鏡面切削。

金剛石刀具超精密切削主要用于加工銅、鋁等有色金屬，如高密度硬磁盤的鋁合金基片、激光器的反射鏡、復(fù)印機(jī)的硒鼓、光學(xué)平面鏡，凹凸鏡、拋物面鏡等。超精切削刀具材料有天然金剛石，人造單晶金剛石。

金剛石刀具磨損的常見形式為機(jī)械磨損和破損。機(jī)械磨損——機(jī)械摩擦、非常微?。黄茡p——本身裂紋、沖擊和振動(dòng)。刀具磨損直接影響到加工質(zhì)量（具體視加工材料而定）。金剛石刀具只能安裝在機(jī)床主軸轉(zhuǎn)動(dòng)非常平穩(wěn)的高精度機(jī)床上使用（不能有振動(dòng)）。

2、金剛石刀具切削的優(yōu)點(diǎn)

（1）平面鏡的表面粗糙度可達(dá)Ry5µm，曲面鏡的表面粗糙度可達(dá)Ry10µm，形狀精度可達(dá)30µm，而且沒有塌邊現(xiàn)象。

（2）用SPDT加工的表面對光線的反射率很高，例如對波長λ為10.6µm的激光，經(jīng)SPDT切削加工的去氧銅表面的反射率為99～99.4%。在去氧銅表面鍍金、銀、銅層，經(jīng)SPDT切削加工后．表面的反射率為96.7～99.3%。

（3）經(jīng)SPDT加工的表面，對激光具有很高的耐熱損傷性能，故它是大功率激光用的反射鏡終精加工的最好方法。

（4）金剛石刀具超精密切削與一般切削加工相比，精度要高1－2個(gè)量級。

（5）從成本上看，用去氧銅經(jīng)SPDT進(jìn)行加工的光學(xué)反射鏡、棱鏡等與過去用鍍鉻經(jīng)磨料加工的產(chǎn)品相比，成本大約為后者的一半或數(shù)分之一。

（6）在SPDT加工過程中可采用數(shù)控進(jìn)行批量生產(chǎn)，這樣不僅可以縮短加工時(shí)間，而且可以很容易地加工非球面及其他形狀復(fù)雜的表面，故相對而言，雖然加工設(shè)備最初的投資較高，但與效益相比，成本還是低的。

3、刀尖幾何形狀對加工質(zhì)量的影響

常用天然金剛石刀具的刀尖幾何形狀有尖刃多棱刃、直線切削刃及曲線切削刃(主要是圓弧切削刃)等幾種"是用于超精密切削的幾種不同金剛石刀具刀尖部分的幾何形狀。

一般不用"在超精密切削時(shí)直線切削刃就是直線修光刃,圓弧切削刃就是圓弧修光刃"在這幾種不同刀尖幾何形狀的金剛石刀具中,尖刃刀具、多棱刃刀具難以加工出超精密表面;圓弧切削刃刀具雖然加工殘留面積較小,但刃磨困難(目前,除哈爾濱工業(yè)大學(xué)外,我國圓弧切削刃金剛石刀具刃磨技術(shù)的總體水平都不高)，而在精確安裝的前提下,直線切削刃刀具的加工殘留面積最小,加工表面質(zhì)量最高。

直線切削刃比圓弧切削刃的切削阻力小,易于進(jìn)行尺寸精度及表面粗糙度控制,并且制造容易、研磨方便,其用于高品質(zhì)!高精度加工方面的優(yōu)勢是其它切削刃難以替代的，其不足之處是安裝調(diào)整比較困難。

4、圓弧切削刃

圓弧切削刃金剛石刀具對刀容易,使用方便,但刀具制造、研磨困難,價(jià)格較高。國外金剛石刀具較多地采用圓弧切削刃,推薦的切削刃刀尖圓弧半徑為Re=0.5~3mm或更小。超精密切削時(shí)進(jìn)給量甚小,一般情況下進(jìn)給量f<0.02mm/r。

在切削深度相同的條件下,隨著刀尖圓弧半徑的減小,工件的表面粗糙度增大,這是因?yàn)閳A弧切削刃加工時(shí)留下的殘留面積隨著刀尖圓弧半徑的變化而變化:當(dāng)?shù)都鈭A弧半徑減小時(shí)切削刃變得越來越小,工件上切削的殘留面積就越來越大。根據(jù)粗糙度理論計(jì)算公式,

Ra=f²／8rε

式中 Ra---理論粗糙度

f---進(jìn)給量

rε---刀尖圓弧半徑

由上式可知,刀尖圓弧半徑越小,工件的粗糙度值越大"所以從加工表面的粗糙度方面考慮,應(yīng)該選擇盡可能大的刀尖圓弧半徑。但隨著刀尖圓弧半徑的繼續(xù)增大,刀具將變得越來越鈍,對工件產(chǎn)生很大的擠壓力和摩擦力"同時(shí),由于工件安裝等情況的影響,在工件不同位置會產(chǎn)生不同的變形,使得切削層不再均勻,造成工件平面度降低。因此刀尖圓弧半徑的選擇要兼顧加工表面粗糙度和平面度。

超精密加工機(jī)床的關(guān)鍵部件技術(shù)

德國LT-Ultra單點(diǎn)金剛石車床非球面模仁超精密加工機(jī)床

1、主軸系統(tǒng)

超精密加工機(jī)床的主軸在加工過程中直接支持工件或刀具的運(yùn)動(dòng)，故主軸的回轉(zhuǎn)精度直接影響到工件的加工精度。因此可以說主軸是超精密加工機(jī)床中最重要的一個(gè)部件，通過機(jī)床主軸的精度和特性可以評價(jià)機(jī)床本身的精度。

目前研制開發(fā)的超精密加工機(jī)床的主軸中精度最高的是靜壓空氣軸承主軸(磁懸浮軸承主軸也越來越受到人們的重視，其精度在迅速得到提高)。

空氣軸承主軸具有良好的振擺回轉(zhuǎn)精度。主軸振擺回轉(zhuǎn)精度是除去軸的圓度誤差和加工粗糙度影響之外的軸心線振擺，即非重復(fù)徑向振擺，屬于靜態(tài)精度。目前高精度空氣軸承主軸回轉(zhuǎn)精度可達(dá)0.05μm，最高可達(dá)0.03μm，由于軸承中支承回轉(zhuǎn)軸的壓力膜的均化作用，空氣軸承主軸能夠得到高于軸承零件本身的精度。例如主軸的回轉(zhuǎn)精度大約可以達(dá)到軸和軸套等軸承部件圓度的1/15～1/20。日本學(xué)者研究表明，當(dāng)軸和軸套的圓度達(dá)到0.15～0.2μm的精度時(shí)，可以得到10nm的回轉(zhuǎn)精度，并通過FFT測定其所制造的精度最高的空氣軸承主軸的回轉(zhuǎn)精度為8nm。HCM-Ⅰ超精密加工機(jī)床的密玉石空氣軸承主軸的圓度誤差≤0.1μm。

另外，空氣軸承主軸還具有動(dòng)特性良好、精度壽命長、不產(chǎn)生振動(dòng)、剛性/載荷量具有與使用條件相稱的值等優(yōu)點(diǎn)。但是在主軸剛度、發(fā)熱量與維護(hù)等方面需要做細(xì)致的工作。要做到納米級回轉(zhuǎn)精度的空氣軸承主軸，除空氣軸承的軸及軸套的形狀精度達(dá)到0.15～0.2μm，再通過空氣膜的均化作用來實(shí)現(xiàn)外，還需要保持供氣孔流出氣體的均勻性。供氣孔數(shù)量、分布精度、對軸心的傾角、軸承的凸凹、圓柱度、表面粗糙度等的不同，均會影響軸承面空氣流動(dòng)的均勻性。而氣流的不均勻是產(chǎn)生微小振動(dòng)的直接原因，從而影響回轉(zhuǎn)精度。要改善供氣系統(tǒng)的狀況，軸承材料宜選用多孔質(zhì)材料。這是因?yàn)槎嗫踪|(zhì)軸承是通過無數(shù)小孔供氣的，能夠改善壓力分布，在提高承載能力的同時(shí)，改善空氣流動(dòng)的均勻性。多孔質(zhì)材料的均勻性是很重要的。因?yàn)槎嗫踪|(zhì)供氣軸承材料內(nèi)部的空洞會形成氣腔，如不加以控制會引起氣錘振動(dòng)，為此必須對表面進(jìn)行堵塞加工。

2、直線導(dǎo)軌

作為刀具和工件相對定位機(jī)構(gòu)的直線導(dǎo)軌，是僅次于主軸的重要部件。對超精密加工機(jī)床的直線導(dǎo)軌的基本要求是：動(dòng)作靈活、無爬行等不連續(xù)動(dòng)作；直線精度好；在實(shí)用中應(yīng)具有與使用條件相適應(yīng)的剛性；高速運(yùn)動(dòng)時(shí)發(fā)熱量少；維修保養(yǎng)容易。

超精密加工機(jī)床中的常用導(dǎo)軌有V-V型滑動(dòng)導(dǎo)軌和滾動(dòng)導(dǎo)軌、液體靜壓導(dǎo)軌和氣體靜壓導(dǎo)軌。

傳統(tǒng)的V-V型滑動(dòng)導(dǎo)軌和滾動(dòng)導(dǎo)軌在美國和德國的應(yīng)用都取得了良好的效果。后兩種都屬于非接觸式導(dǎo)軌，所以完全不必?fù)?dān)心爬行的產(chǎn)生。從精度方面來考慮后兩種也是最適宜的導(dǎo)軌。

液體靜壓導(dǎo)軌由于油的粘性剪切阻力而發(fā)熱量比較大，因此必須對液壓油采取冷卻措施。另外液壓裝置比較大，而且油路的維修保養(yǎng)也麻煩。

氣體靜壓導(dǎo)軌由于支承部是平面，可獲得較大的支承剛度，它幾乎不存在發(fā)熱問題，如果最初的設(shè)計(jì)合理，則在后續(xù)的維修保養(yǎng)方面幾乎不會發(fā)生什么問題。

但必須注意導(dǎo)軌面的防塵?？諝鈱?dǎo)軌的間隙僅為十幾微米，而對如此大小的塵埃肉眼是看不到的，這樣的塵埃即使是潔凈室也不能完全消除，塵埃落入空氣導(dǎo)軌面內(nèi)會引起導(dǎo)軌面的損傷。總體看來，空氣靜壓導(dǎo)軌是目前最好的導(dǎo)軌，但若不能保證防塵條件，則須改用液體靜壓導(dǎo)軌。目前空氣靜壓直線導(dǎo)軌的直線度可達(dá)0.1～0.2μm/250mm。

3、環(huán)境條件

超精密加工的環(huán)境條件有三。

其一是污染，超精密加工機(jī)床必須置于潔凈的超凈室內(nèi)才能充分發(fā)揮其優(yōu)勢。室內(nèi)的潔凈度以一立方英尺中0.5μm以上的灰塵的數(shù)量表示。作為超精密加工機(jī)床的工作環(huán)境應(yīng)為20000～3000級以下。

其二是振動(dòng)。環(huán)境振動(dòng)的干擾不僅會引起機(jī)床本體的振動(dòng)，更主要的是會引起切削刀具與被加工零件間的相對振動(dòng)位移，后者將直接反映到被加工零件的精度和表面質(zhì)量上。因此超精密加工機(jī)床必須設(shè)置性能優(yōu)異的隔振裝置。目前國外超精密加工機(jī)床中，大多數(shù)采用以空氣彈簧為隔振元件的隔振系統(tǒng)，并取得了較好的隔振效果。這主要是因?yàn)榭諝鈴椈稍诰哂休^大承載能力的同時(shí)，具有較低的剛度。彈簧的低剛度可使隔振系統(tǒng)獲得較低的固有頻率，遠(yuǎn)離環(huán)境干擾頻率，提高隔振效果。經(jīng)理論分析研究和計(jì)算比較，HCM-Ⅰ超精密加工機(jī)床采用了直筒約束膜式結(jié)構(gòu)，并取內(nèi)、外變角均為0°。這樣不僅彈簧剛度的線性度好，而且結(jié)構(gòu)簡單，便于模具的制造以及裝置的安裝和調(diào)整。

其三是溫度。超精密加工機(jī)床的加工必須在恒溫室內(nèi)進(jìn)行，加工過程中溫度的變化，會造成機(jī)床運(yùn)動(dòng)精度下降，不能獲得所定的加工精度。為了解決這一問題，通常從兩個(gè)方面入手，一是選擇合適的部件材料，超精密加工機(jī)床中使用的和候選的材料有氧化鋁陶瓷、鑄鐵、鋼、殷鋼、花崗巖、樹脂混凝土和零膨脹玻璃。從實(shí)際出發(fā)，HCM-Ⅰ超精密加工機(jī)床幾乎全部采用花崗巖。二是保持溫度的恒定控制。在總結(jié)國內(nèi)外經(jīng)驗(yàn)之后，哈爾濱工業(yè)大學(xué)提出了“有效冷流速率”的概念，在此基礎(chǔ)上進(jìn)行的超精密恒溫供油系統(tǒng)的溫控精度達(dá)到了世界先進(jìn)水平。 

影響切削表面粗糙度的因素及發(fā)展趨勢

1、超精密切削時(shí)的刀具磨損和壽命

用天然單晶金剛石刀具對有色金屬進(jìn)行超精密切削，如切削條件正常，刀具無意外損傷，刀具磨損甚慢，刀具耐用度極高。

天然單晶金剛石刀具用于超精密切削，破損或磨損而不能繼續(xù)使用的標(biāo)志為加工表面粗糙度超過規(guī)定值。

金剛石刀具的壽命平時(shí)以其切削路徑的長度計(jì)。如切削條件正常，金剛石刀具的壽命可達(dá)數(shù)百公里。 

實(shí)際使用中金剛石刀具常達(dá)不到上述的耐用度，常常是由于切削刃產(chǎn)生微小崩刃而不能繼續(xù)使用，這主要是由于切削時(shí)的振動(dòng)或刀刃的碰撞引起的。 

2、影響切削表面粗糙度的因素

（1）切削刃的粗糙度的影響

（2）切削刃的復(fù)映性的影響

（3）鱗刺與加工變質(zhì)層的影響

3、超精密切削加工發(fā)展及趨勢

20世紀(jì)60年代發(fā)展起來的新技術(shù)，在國防和尖端技術(shù)領(lǐng)域具有重要地位。服從金屬切削的普遍規(guī)律，但由于切削層極薄，所以又具有一定的特殊性。

近幾年來，切削加工技術(shù)得到了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，像計(jì)算機(jī)用的磁鼓、磁盤，大功率激光用的金屬反射鏡，激光掃描用的多面棱鏡，紅外光等用的光學(xué)零件和復(fù)印機(jī)的高精度零件，都是用切削的方法加工出來的。金剛石刀具是超精密切削的理想刀具。在其它加工條件具備時(shí),金剛石刀具的刀尖幾何形狀和切削刃的鋒利度對超精密加工有很大影響。正確地選擇刀尖部分幾何形狀和切削刃鈍圓半徑是獲得高質(zhì)量加工表面的有力保證，超精密切削加工技術(shù)在這個(gè)技術(shù)時(shí)代顯得尤為重要。

現(xiàn)代高精度流量計(jì)需要滿足計(jì)量測試的精度要求，生產(chǎn)制造中也要用到精密切削加工技術(shù)，上海康匯研發(fā)生產(chǎn)的U-How®容積式旋轉(zhuǎn)活塞流量計(jì)，屬于精密加工計(jì)量器件，經(jīng)過北京市計(jì)量檢測科學(xué)研究院檢測認(rèn)證，精度達(dá)到1.0級。確保了流量計(jì)轉(zhuǎn)子達(dá)到50萬轉(zhuǎn)次以上和腔體容積的穩(wěn)定性，腔體及轉(zhuǎn)子等主要部件，保證部件尺寸精度達(dá)到1μm以上。